一种检测碳化硅中碳化硅含量的方法

一种检测碳化硅中碳化硅含量的方法一种检测碳化硅中碳化硅含量的方法本发明属于碳化硅检测领域，尤其涉及一种检测碳化硅中碳化硅含量的方法。通过分析碳化硅中所含的结合碳来计算出碳化硅的含量，同时引入高频红外碳