三氯氢硅的生产工艺与技术路线的选择

三氯氢硅的生产工艺与技术路线的选择2.1 三氯氢硅的生产原理及催化反应机理2.1.1 生产原理三氯氢硅是通过高纯氯化氢气体与金属级单体硅(质量分数98.0%～99.0%)在一定温度、压力条件下反应