多元素Fex(ME)xN柔性软磁纳米薄膜的制备和表征

多元素Fex(ME)xN柔性软磁纳米薄膜的制备和表征多元素Fex(ME)xN柔性软磁纳米薄膜的制备和表征摘要：柔性软磁纳米薄膜具有重要的应用价值，如在传感器、储存设备和医学器械等领域。本文介绍了一种制

Fex(ME)xN 多元素柔性软磁纳米薄膜的制备和表征 Fex(ME)xN 多元素柔性软磁纳米薄膜的制备和表征 摘要： 柔性软磁纳米薄膜具有重要的应用价值，如在传感器、储存设备和 Fex(ME)xN 医学器械等领域。本文介绍了一种制备多元素柔性软磁纳米 薄膜的方法，并对其进行了表征。通过这种制备方法，可以获得高质量 Fex(ME)xN 的多元素柔性软磁纳米薄膜，并对其性质进行详细分析。实 Fex(ME)xN 验结果表明，所制备的多元素柔性软磁纳米薄膜具有优异的 磁性能和柔性性能。 关键词：柔性软磁纳米薄膜、制备、表征、磁性能、柔性性能 1. 引言 柔性软磁纳米薄膜是一种具有高磁性能和柔性性能的材料，具有广 泛的应用前景。制备高质量的柔性软磁纳米薄膜对于实现其应用具有重 Fex(ME)xN 要意义。本文介绍了一种制备多元素柔性软磁纳米薄膜的方 法，并对其进行了表征。 2. 实验方法 2.1 材料准备 Fex(ME)xN 多元素柔性软磁纳米薄膜的制备需要准备相应的材料。 FeMEN 在本实验中，我们选择了、和作为制备材料。 2.2 制备方法 Fex(ME)xN 制备多元素柔性软磁纳米薄膜的方法如下所示： 1) 在玻璃基板上制备金属缓冲层。在清洁的玻璃基板上，通过物理 气相沉积或化学气相沉积的方法，制备金属缓冲层。金属缓冲层的厚度 选择根据实际实验要求进行调整。