压电驱动纳米定位平台的设计与智能预测控制方法研究

压电驱动纳米定位平台的设计与智能预测控制方法研究压电驱动纳米定位平台的设计与智能预测控制方法研究摘要：压电驱动纳米定位平台是一种重要的纳米精密定位设备，在纳米技术、生物医学、微机械制造等领域具有广泛应