浸没光刻液体传送及控制系统研究

浸没光刻液体传送及控制系统研究信息技术的快速发展促使半导体制造技术逐渐提高，光刻分辨率按照摩尔定律的预言继续减小。通过移相掩膜、光学临近校正和其他分辨率增强技术，光学光刻实现了小于入射光波长特征线宽的