磁控溅射的基本原理-3

磁控溅射的基本原理!用高能粒子（大多数是由电场加速的正离子）撞击固体表面，在与固体表面的原子或分子进行能量交换后，从固体表面飞出原子或分子的现象称为溅射。按照溅射理论的级联碰撞模型如图所示，当入射离子