MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用

MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用阳启明， 张剑铭，杨道虹，徐晨，沈光地 (北京工业大学电子信息与控制工程学院) 1 引言 微电子机械系统(MEMS)技术作为一项新兴的微细加工技术，已开始在各领域