ZnO薄膜MOCVD系统生长研究的任务书

ZnO薄膜MOCVD系统生长研究的任务书任务书一、任务背景氧化锌（ZnO）是一种广泛应用于光电子设备、传感器和太阳能电池等领域的半导体材料。其中，ZnO薄膜作为最基础的结构，因其易于制备、制备过程简单