浙江大学半导体测试技术第四章3

- 3.2 外光路系统及样品装置 激光器之后到单色仪之前为外光路系统和试样装置，它的作用是为了要在试样上得到最有效的照射，最大限度地收集散射光，还要适合于作不同状态的试样在各种不同条件（如高，