基于共轭差分法的光学平面面形绝对测量关键技术研究

基于共轭差分法的光学平面面形绝对测量关键技术研究摘要：光学平面面形绝对测量技术在高精度制造和光电工程领域有着广泛的应用。基于共轭差分法的光学平面面形绝对测量技术是目前常用的一种方法。本文详细介绍了基于