基于MEMS技术的微阀和微泵的设计与研制的开题报告

基于MEMS技术的微阀和微泵的设计与研制的开题报告一、选题背景和意义微机电系统（MEMS）技术是近20年来迅猛发展的一项新技术，它在微型传感器、微加工和微型控制领域有着广泛的应用。随着MEMS技术的飞