多层金属薄膜Au—Ni—Si的扫描俄歇分析

多层金属薄膜Au—Ni—Si的扫描俄歇分析多层金属薄膜具有广泛的应用领域，包括光电子器件、集成电路、传感器等。其中Au—Ni—Si多层金属薄膜由金(Au)、镍(Ni)和硅(Si)三层金属构成，具有优良