《外延及CVD工艺》PPT课件

- 第二章 外延及CVD工艺 - §1 外延工艺一.外延工艺概述定义:外延(epitaxy)是在单晶衬底上生长一层单晶膜的技术。新生单晶层按衬底晶相延伸生长，并称此为外延层。长