（精）“三氯氢硅”调查报告打印

“三氯氢硅”调查报告第一章、三氯氢硅概况1.1三氯氢硅的基本概况三氯氢硅是由硅粉和氯化氢气体在一定温度和压力下反应生成的主要产物，为无色透明 液体。是生产太阳能级与微电子多晶硅的重要原料，同时也是合成