从气体动力学的角度探讨扩散泵的机理 (第二部分)

从气体动力学的角度探讨扩散泵的机理 (第二部分)II. 扩散泵的工作原理扩散泵利用气体的分子扩散来实现气体分离和抽取。在扩散泵内部，两个具有不同分压的气体相互作用，使气体分子通过分子过渡进入低压区域。