磁控溅射操作过程

设备操作规范 1.系统从大气开始抽真空: 1.1系统抽真空时应按如下步骤进行: 1)检查所有阀门是否处于关闭状态。 2)检查所有水路是否开通和水压是否正常。 3)检查柜面板上所有电源是否处于关闭位置。