电子特气 六氯乙硅烷-编制说明

《电子特气 六氯乙硅烷》国家标准征求意见稿编制说明标准起草工作组2022 年 3 月一、工作简况1.1 任务来源六氯乙硅烷是无色透明液体，具有腐蚀性。电子级六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅