反应磁控溅射生长W掺杂ZnO薄膜及其应用研究

反应磁控溅射生长W掺杂ZnO薄膜及其应用研究摘要随着纳米科技的发展，功能材料的研究逐渐成为研究的热点。本文以W掺杂ZnO薄膜为研究对象，采用反应磁控溅射技术制备了一系列W掺杂ZnO薄膜。并通过对其物理