金属薄膜电阻率的测量

5 金属薄膜电阻率的测量实验目的熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。实验仪器RTS-5 型双电测四探针测试仪实验原理双电测组合四探针法采用了以下