最新半导体工厂(FAB)大宗气体系统的设计(精)

半导体工厂〔FAB〕大宗气体系统〔Gas Yard〕的设计1995年，美国半导体工业协会〔SIA〕在一份报告中预言："中国将在10-15年内成为世界最大的半导体市场"。随着中国经济的增长和信息产业的开