宽带隙氧化锌和氧化镓的干法刻蚀研究的开题报告

宽带隙氧化锌和氧化镓的干法刻蚀研究的开题报告一、研究背景和意义宽带隙材料具有广阔的应用前景，其中宽带隙氧化锌和氧化镓由于其优异的物理和化学特性，在光电子学、电子学、显示器件等领域得到越来越广泛的应用。