碳碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究

碳/碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究摘要：本文介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异。通过在单晶炉上的实验应用，证明了碳/碳复合材料比石墨材料具有更