氮化铝基片超精密加工的实验研究(1)

总 第年期月第文章编 号期一一金 刚石 与 磨料磨具 工 程咖、一氮 化 铝 基 片 超精 密 加 工 的 实 验研究”和匕忠 于 袁 巨 龙,郑 家锦浙 江工业大 学浙西分 校‘’吕 冰 海,偕 州