基于纳米压痕试验的TiN镀膜有限元分析

基于纳米压痕试验的TiN镀膜有限元分析摘要：本文结合纳米压痕试验，使用有限元分析方法对TiN镀膜进行了研究。通过建立模型，分析了受力情况对膜层塑性变形和应力分布的影响，并探讨了不同影响因素对实验结果的