高灵敏柔性微纳振动传感器的研究的任务书

高灵敏柔性微纳振动传感器的研究的任务书任务书1. 任务背景微纳传感技术已经成为当今最热门的领域之一，其应用范围涉及到生物医学、环境监测、安全监测等领域。微纳振动传感器是微纳传感技术中最为重要的研究方向