半导体物理第八章1

第8章  半导体表面与MIS结构许多半导体器件的特性都和半导体的表面性质有着密切关系，例如，晶体管和集成电路的工作参数及其稳定性在很大程度上受半导体表面状态的影响；而MOS器件、电荷耦合器件和表面发光