金属氧化物半导体相关器件的制备与表征的中期报告

金属氧化物半导体相关器件的制备与表征的中期报告1、引言金属氧化物半导体（MOS）器件因其高性能和广泛应用，已成为现代半导体器件领域的核心之一。本中期报告旨在介绍MOS器件的制备和表征方法，以及一些最新