GaAs工艺

MMIC发展背景及趋势李 芹MMIC简介 单片微波集成电路,是在半绝缘半导体衬底上用一系列的半导体工艺方法制备出无源和有源元器件,并连接起来构成应用于微波(甚至毫米波)频段的功能电路,具有尺寸小、重