化学汽相淀积(CVD)技术述评

化学汽相淀积(CVD)技术述评化学汽相淀积(CVD)技术是一种广泛应用于材料制备的工艺技术。它是在高温下通过化学反应使气态原料在基片表面沉积而成膜的一种方法，被广泛应用于纳米材料、薄膜、涂料、陶瓷等领