衬底温度对AZO薄膜结构和光电性能影响的研究

衬底温度对AZO薄膜结构和光电性能影响的研究随着现代电子技术的发展，新型透明导电材料的需求日益增加。氧化铝掺杂锌（AZO）薄膜作为一种新型的透明导电材料，其高导电性能、高透光性能以及优良的机械性能受到