ULSI多层金属布线中的热效应和可靠性研究的综述报告

ULSI多层金属布线中的热效应和可靠性研究的综述报告随着芯片尺寸和集成度不断增加，金属布线的设计和制造变得越来越具有挑战性。在超大规模集成电路（ULSI）中，金属布线的宽度和间距已经缩小到纳米级别，这