碳化硅薄膜的外延生长、结构表征及石墨烯的制备共3篇

碳化硅薄膜的外延生长、结构表征及石墨烯的制备共3篇碳化硅薄膜的外延生长、结构表征及石墨烯的制备1近年来，碳化硅薄膜的研究受到了广泛关注，因为它具有出色的电学、光学、力学和化学性质，在微电子学、光电子学