原子层沉积法制备稀土掺杂氧化铝MOS结构电致发光器件

原子层沉积法制备稀土掺杂氧化铝MOS结构电致发光器件原子层沉积法制备稀土掺杂氧化铝MOS结构电致发光器件摘要：稀土掺杂氧化铝材料具有优异的光电性能，在光电子器件中得到了广泛应用。而原子层沉积法是一种制