MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法

MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法鉴于MEMS（微电子机械系统）在各个领域都得到了广泛的应用，如医疗、通信、汽车、航空等领域，MEMS的制造工艺和可靠性变得越来越重要。微机械制造工艺的复杂性越来越高