基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器的研究的任务书

基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器的研究的任务书任务书一、任务背景射频微电子技术(RFMEMS) 是一种相对新兴的领域，通过将微电子技术与机械技术相结合，实现微小、灵活、可调节的射频