自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究

自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究黄佐华! 何振江! 杨冠玲! 傅 强"华南师范大学物理系! 广东广州 +%"0$%# 摘要 根据椭偏消光法和光度法原理 研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪