垂直式MOCVD反应器中关于射流的数值模拟

垂直式MOCVD反应器中关于射流的数值模拟垂直式MOCVD反应器中关于射流的数值模拟摘要：射流作为MOCVD反应器中非常重要的组成部分，对于反应器的性能和工艺有着重要的影响。本论文利用计算流体力学（C