真空镀膜连续生产线的工作原理及故障分析

真空镀膜连续生产线的工作原理及故障分析 真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+pol