SiC高温氧化工艺开发和界面特性分析

SiC高温氧化工艺开发和界面特性分析SiC是化学式为SiC的一种陶瓷材料，其具有高温强度、高硬度、高抗腐蚀性、良好的导热和导电性质等优异特性，因此广泛应用于高温结构材料、化工反应器、电力电子器件等领域