氢化物气相外延生长高质量氮化镓的光谱及电学特性研究的任务书

氢化物气相外延生长高质量氮化镓的光谱及电学特性研究的任务书任务书：一、研究背景氢化物气相外延(HVPE)是一种重要的氮化物外延生长技术，可以制备高质量的氮化镓(GaN)薄膜。然而，HVPE生长过程中存