硅单晶片化学腐蚀坑深控制的研究

硅单晶片化学腐蚀坑深控制的研究硅单晶片化学腐蚀坑深控制的研究摘要：硅单晶片是电子工业中的关键材料之一，其质量和性能对芯片的制造与性能起着重要影响。然而，化学腐蚀过程中的坑深不可忽视，因为它会影响芯片的