红外吸收法测定硅单晶中氧和碳的测试方法与工艺

- 一、硅单晶中氧、碳的分布情况1、氧 ：在硅单晶中，以间隙氧的形式存在（1）硅中氧的含量：直拉单晶硅：4×1017～3×1018原子/cm3多晶硅：1016～1017原子/cm3（2）最大溶解度：熔