基于拉曼光谱的类金刚石薄膜的热稳定性研究

基于拉曼光谱的类金刚石薄膜的热稳定性研究基于拉曼光谱的类金刚石薄膜的热稳定性研究摘要：类金刚石薄膜作为一种新兴的薄膜材料，在石墨化学气相沉积（CVD）技术下制备具有广泛的应用前景。而在一些高温环境下，