基于SABER平台的MEMS系统级模型研究

基于SABER平台的MEMS系统级模型研究随着MEMS技术的不断发展，MEMS系统的应用越来越广泛。在MEMS系统设计中，系统级模型的建立和仿真是非常重要的一环。本文将介绍基于SABER平台的MEMS