单晶煅烧阿特斯长晶切片事业部单晶拉制车间CL90型单晶炉煅烧18〞热场使用

1目的：清理热场的杂质，规范煅烧的步骤。2范围：本文件只适合CSI阿特斯长晶切片事业部单晶拉制车间CL90型单晶炉煅烧18〞热场使用3定义： 无4职责:4.1 生产部门4.1.1 按照工艺文件的