ESD电热模拟分析

ESD电热模拟分析李永坤１，２，郝跃１，罗宏伟２（１ 西安电子科技大学微电子学院，西安７１００７１；２ 中国电子科技集团公司第五研究所分析中心，广州５１０６１０）１ 引言在深亚微米技术中，静电放电（Ｅ