纳米电子器件的可靠性与失效机制

- 纳米电子器件的可靠性与失效机制 - - 纳米电子器件失效模式 电迁移与应力迁移 介质击穿与栅极氧化物老化 热稳定性与自热效应 偏置应力效应与