先进半导体设备制造技术及趋势-图文(精)

先进半导体设备制造技术及趋势张云　王志越中国电子科技集团公司第四十五探讨所摘要：本文首先介绍了国内外半导体设备市场，认为市场虽有起伏，但前景良好。从晶圆处理和封装的典型设备入手介绍了当前最先进半导体设