动态掩模微光刻系统开发及其在液晶光控取向中的应用研究的中期报告

动态掩模微光刻系统开发及其在液晶光控取向中的应用研究的中期报告一、研究内容本研究旨在开发一种基于动态掩模技术的微光刻系统，同时探讨其在液晶光控取向中的应用。二、研究进展1.系统硬件开发已完成动态掩模微