基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析

基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析 　　摘要：基于FEMAGSoft公司的EMAG-CZ热场仿真软件具有模拟提拉法生长单晶体的热场仿真功能，提出使用温度梯度分析热场，通过仿真证明热场设计